水平流單工位超凈臺技術參數

水平流單工位超凈臺潔凈工作臺校準項目及技術要求
3　校準條件
3. 1　環境條件 溫度( 20±5)℃,相對濕度<75%RH。
3. 2　校準儀器 ( 1)過濾器檢漏儀: 泄漏量程( 0. 0001%～ 100%) ,重 復性 0. 05%; ( 2)塵埃粒子計數器: 測量范圍( 0. 3～ 10) μ m,允許誤 差±30%,流量 28. 3L/min ; ( 3)熱球風速儀: 測量范圍( 0. 05～ 30) m/s,允許誤差 ±3%; ( 4)聲級計: 測量范圍( 30～ 100) dB ,允許誤差±1dB; ( 5)振動儀: 頻率( 2～ 500) Hz; 位移 0. 1μ m～ 1. 5mm; 加速度( 0. 01～ 10) g; ( 6) 照度計: 測量范圍( 0～ ±2000) Ix ,允許誤差±4%
4　校準方法
4. 1　檢漏 向空氣過濾器上游測發 DOP 氣溶膠() ,用 采樣器在過濾器下游例約 2. 5cm 處檢漏儀進行巡檢 掃描,巡檢速度≤5cm/s,當下游測濃度與上游側濃度的 比大于 0. 01%時,則認為有明顯泄漏,應進行堵漏。
4. 2　潔凈度 采樣時采用 28. 3L/min 的塵埃粒子計數器,也可采 用小流量塵埃粒子計數器,但采樣量得小于 1L。當吸風 口處的氣溶膠濃度達到穩定條件下,在距主過濾器或整 流格柵出口 250mm 的平行斷面的中心處連續測試 5 次, 求其平均值。
4. 3　風速 在主過濾器或擴散板下游 10cm 處的平面,把該平面 面積分成不得少于 12 等分面積,各面積中心點為風速測 點,各測點之間距離不應大于 25cm,用熱球風速儀或熱 敏電阻風速儀來測量各點風速,取平均值為截面風速。 風速均勻性按下式計算: Y =Vmax(min)-V V ×100% 式中: Y —風速均勻性, %; V—截面風速較大值或較 小值,m/s; V—截面平均風速,m/s。
4. 4　噪聲 測試噪聲的環境在室內比較開闊的、較硬實反射地 面上進行測量。設備操作區開口處,若設有檔板應全部 開啟,特利注意避免氣流產生的風壓、振動等帶來的影 響。噪聲測量點應布置在工作臺中心,距臺面前沿 20cm 處,高度為 110cm,共測四次,取平均值為測量結果。
4. 5　振動 潔凈工作臺應放置在振動比較小的地面上,避免周 圍環境環的影響,工作臺在正常運行條件下,將振動分析 計的拾振器放置于操作面的幾何中心,測出 X、Y、Z 三個 軸向的總振幅值。
4. 6　照明 在潔凈工作臺橫向的中心線上,均勻布置三個點,用 照度計測量其照度,取平均值為測量結果。